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    现有废气处理设备有哪些困扰问题?
    - 2020-02-26-

      当制作工艺机台的废气自制作工艺反应室抽离后,会先经过废气处理设备,再作进一步处理,之后排入空气。日前的废气处理设备,废气处理厂家通常采用前段高温加热,使半导体制作工艺废气氧化,后段再经洒水装置以清水喷洒冲洗,将高温废气降温,同时洗涤高温废气,使废气中的微?;蛘咚峒钊芙庥谒?,再将废水经由排水管排出,并通过抽风装置将处理过的废气通过排气管排放至外界。由于此设备有效结合氧化及水洗的优点,能适用于大量粉尘的制作工艺中,因此广受各大半导体厂选用。

      废气处理厂家为了与抽风装置所产生的风压抗衡,现有的废气处理设备排水管须设置有一些高的存水弯,以利用其静水压力来抵御风压,使废水能顺利经由排水管排出。然而,当抽风装置所产生的风压高过2000毫米水柱(mmAq)以上时,其所需的存水弯长度将长达几十公尺(米),无论在实务上或建置空间上皆不适宜。若用以抵御抽风装置的风压的存水弯长度不足,则废水会随着处理过的废气一同吸送至排气管而排放至外界,不但造成环境污染,还会使管线积水,进而造成严重的管线腐蚀问题、工安危害以及维修上的困扰。

      对此问题,废气处理厂家给出了解决方案,下期我们将为大家展示,敬请期待。

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